首先在衬底上制作氮化镓(gan)基的外延片,这个主要是在金属有机化学气相沉积外延片炉(mocvd)中完成的。好制作gan基外延片所需的材料源和各种高纯的气体之后,按照工艺的要求就可以逐步把外延片做好。常用的衬底主要有蓝宝石、碳化硅和硅衬底,还有gaas、aln、zno等材料。
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