电子洁净厂---格海博尔---

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  • 主营产品| 无尘车间,手术室净化,实验室净化,自动化控制工程,通风空调工程
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海博尔智能净化工程公司前身为中航洁净技术研究所,始创于1989年9月,注册资金5100万元。公司下设九部一办,辖16个省市办事机构。公司---了一批空气净化设备行业精英。160;海博尔智能净化工程人定期分享经验、研究难点、总结问题,提升技术,力---益---,在实践中各部门能配合将无尘车间净化工程一次做---。实现“责任、诚信、---、品质、服务”企业的价值。用诚信、---服务,竭诚与广大需求群体共同创造的未来。
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海博尔带您了解无尘车间管理制度(五)
5.2 无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准

  5.2.1 为了---洁净室的洁净度满足工艺要求,必须定期对洁净室内的洁净度进

  行检测。

  5.2.2 检测测试设备:激光粒子记数器

  5.2.3 检测周期:每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测

  共 4 页

  5.2.4 检测条件:静态洁净度测试

  5.2.5 数据收集整理:将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存,并在每个季

  度末(或下季度初)给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各

  部门。

  5.2.6 各洁净区域洁净级别标准:按照<半导体公司能源管理标准>要求执行。

  5.2.7 洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等

  (包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维
  护,如,空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、

  配电设备、安全报警设施等)执行威世半导体(西安)有限公司厂务部相关













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